D'Chipnotzung an der Chipfabrikatiounsindustrie ass enk verbonne mat der Gréisst an der Zuel vun de Loftpartikelen déi um Chip deposéiert sinn.Gutt Loftflossorganisatioun kann Partikelen, déi aus Stëbsquellen generéiert ginn, ewech vu propperem Raum huelen an d'Propperheet vum Cleanroom garantéieren.Dat ass, d'Loftflossorganisatioun am Cleanroom spillt eng vital Roll an der Ausbezuele vun der Chipproduktioun.D'Ziler, déi am Design vun propper Sall Loft Flux Organisatioun erreecht ginn, sinn: Eddy Stréimunge am Flux Terrain reduzéieren oder eliminéiert Retention vun schiedlech Partikel ze vermeiden;fir e passende positiven Drockgradient z'erhalen fir Kräizkontaminatioun ze vermeiden.
Geméiss dem proppere Raumprinzip enthalen d'Kräfte, déi op Partikelen handelen, Massekraaft, Molekularkraaft, Attraktioun tëscht Partikelen, Loftflosskraaft, asw.
Loftflosskraaft: bezitt sech op d'Kraaft vum Loftfloss verursaacht duerch Versuergung a Retour Loftfloss, thermesch Konvektiounsluftfloss, kënschtlech Agitatioun an aner Loftstroum mat enger gewësser Flowrate fir Partikelen ze droen.Fir propper Raum Ëmwelttechnologie Kontroll, Loftfloss Kraaft ass de wichtegste Faktor.
Experimenter hu gewisen datt an der Loftflossbewegung, Partikelen de Loftfloss mat bal genau der selwechter Geschwindegkeet verfollegen.Den Zoustand vun de Partikelen an der Loft gëtt vun der Loftflossverdeelung bestëmmt.D'Haapteffekter vum Loftfloss op Indoor Partikelen enthalen: Loftversuergungsluftfluss (inklusiv primäre Loftfloss a Secondaire Loftfloss), Loftfloss an thermesch Konvektiounsluftfloss verursaacht vu Leit, déi trëppelen, an den Impakt vum Loftfloss op Partikelen verursaacht duerch Prozessoperatiounen an industriell Ausrüstung.Verschidde Loftversuergungsmethoden, Geschwindegkeetsinterfaces, Bedreiwer an Industrieausrüstung, induzéiert Phänomener, asw.
1. Afloss vun Loft Fourniture Method
(1) Loft Fourniture Vitesse
Fir eenheetlech Loft Flux ze garantéieren, der Loft Fourniture Vitesse am unidirectional Flux propper Sall muss eenheetlech ginn;déi doudege Zone op der Loftversuergungsfläch muss kleng sinn;an den Drockfall am Hepa-Filter muss och eenheetlech sinn.
D'Loftversuergungsgeschwindegkeet ass eenheetlech: dat heescht, d'Ongläichheet vum Loftfluss gëtt bannent ± 20% kontrolléiert.
Et gëtt manner doudege Plaz op der Loftversuergung Uewerfläch: net nëmmen de Fliger Beräich vun der Hepa Frame soll reduzéiert ginn, mä méi wichteg, modulare FFU soll de redundante Frame vereinfacht ginn.
Fir sécherzestellen datt de Loftfloss vertikal an unidirektional ass, ass d'Drockdrockauswiel vum Filter och ganz wichteg, an et ass erfuerderlech datt den Drockverloscht am Filter net partiell ka sinn.
(2) Verglach tëscht FFU System an axial Flux Fan System
FFU ass eng Loftversuergung Eenheet mat engem Fan an Hepa Filter.D'Loft gëtt vum Zentrifugalfan vun der FFU eragezunn an ëmgewandelt den dynameschen Drock an den statesche Drock am Loftkanal.Et gëtt gleichméisseg duerch Hepa-Filter erausgeblosen.De Loftversuergungsdrock op der Plafong ass negativ Drock.Op dës Manéier leeft kee Stëbs a propperem Raum beim Ersatz vum Filter.Experimenter hu gewisen datt de FFU System iwwer den axialen Flow Fan System ass wat d'Loftoutletuniformitéit, d'Loftflossparallelismus an d'Belëftungseffizienzindex ugeet.Dëst ass well de Loftflossparallelismus vum FFU System besser ass.D'Benotzung vum FFU System kann d'Loftflossorganisatioun am propperem Raum verbesseren.
(3) Afloss vun der eegener Struktur vun der FFU
FFU besteet haaptsächlech aus Fans, Filteren, Loftflossguiden an aner Komponenten.Den Hepa-Filter ass déi wichtegst Garantie fir propperem Raum fir déi erfuerderlech Propretéit z'erreechen, déi vum Design erfuerderlech ass.D'Material vum Filter wäert och d'Uniformitéit vum Stroumfeld beaflossen.Wann e rau Filtermaterial oder e Flowplack zum Filteroutlet bäigefüügt gëtt, kann d'Outletflowfeld einfach eenheetlech gemaach ginn.
2. Impakt vun Vitesse Interface mat verschiddene Propretéit
Am selwechte proppere Raum, tëscht dem Aarbechtsberäich an dem Net-Aarbechtsberäich mat vertikalen unidirektionalem Flow, wéinst dem Ënnerscheed an der Loftgeschwindegkeet an der Hepa-Box, wäert e gemëschte Wirbeleffekt op der Interface optrieden, an dës Interface gëtt turbulent. Loftfloss Zone.D'Intensitéit vun der Loftturbulenz ass besonnesch staark, a Partikel kënnen op d'Uewerfläch vun der Ausrüstungsmaschinn iwwerdroe ginn an d'Ausrüstung an d'Wafer kontaminéieren.
3. Impakt op Personal an Equipementer
Wann propper Raum eidel ass, entspriechen d'Loftflosseigenschaften am Raum allgemeng den Designfuerderunge.Wann d'Ausrüstung an de Cleanroom erakënnt, d'Leit beweegen, a Produkter ginn transportéiert, et ginn zwangsleefeg Hindernisser fir d'Loftflossorganisatioun, sou wéi scharf Punkten, déi aus der Ausrüstungsmaschinn erausstinn.An den Ecken oder Kanten gëtt de Gas ofgeleent fir e turbulenten Flowgebitt ze bilden, an d'Flëssegkeet an der Géigend gëtt net einfach vum erakommende Gas gedroen, sou datt d'Verschmotzung verursaacht gëtt.
Zur selwechter Zäit gëtt d'Uewerfläch vun der mechanescher Ausrüstung erhëtzt wéinst der kontinuéierlecher Operatioun, an den Temperaturgradient wäert e Reflowgebitt no bei der Maschinn verursaachen, wat d'Akkumulation vu Partikelen am Reflowberäich erhéicht.Zur selwechter Zäit wäert d'héich Temperatur einfach d'Partikelen entkommen.Den Dual Effekt verstäerkt déi allgemeng vertikal Schicht.D'Schwieregkeet fir d'Streamsreinheet ze kontrolléieren.Stëbs vun Opérateuren am propper Sall kann einfach ze wafers an dëse reflow Beräicher halen.
4. Afloss vun Retour Loft Buedem
Wann d'Resistenz vun der Retour Loft duerch de Buedem passéiert anescht ass, wäert den Drockdifferenz optrieden, wouduerch d'Loft an d'Richtung vu klenge Resistenz fléisst, an eenheetlech Loftfloss gëtt net kritt.Déi aktuell populär Designmethod ass en erhiewte Buedem ze benotzen.Wann den Ëffnungsverhältnis vum erhiewte Buedem op 10% ass, kann d'Loftflossgeschwindegkeet gläichméisseg op der Indoor Aarbechtshéicht verdeelt ginn.Zousätzlech sollt strikt Opmierksamkeet op d'Botzaarbecht bezuelt ginn fir d'Quell vun der Verschmotzung um Buedem ze reduzéieren.
5. Aféierungs- Phänomen
De sougenannte Induktiounsphenomen bezitt sech op d'Phänomen vum Generéiere vum Loftfloss an der entgéintgesate Richtung zum eenheetleche Floss, induzéieren Stëbs generéiert am Raum oder Stëbs an benachbarte kontaminéierte Gebidder op der Upwind Säit, doduerch datt de Stëbs de Wafer kontaminéiert.Méiglech induzéiert Phänomener enthalen déi folgend:
(1) Blannplack
An engem proppere Raum mat vertikalen One-Way Flow, wéinst de Gelenker op der Mauer, ginn et allgemeng grouss Blannplacke, déi turbulenten Flux a lokale Réckfluss produzéieren.
(2) Luuchten
Beliichtungsarmaturen am propperem Raum wäerten e méi groussen Impakt hunn.Well d'Hëtzt vun der Leuchtstofflamp de Loftfloss eropgeet, gëtt d'Leuchtstofflampe net zu engem turbulenten Gebitt.Allgemeng sinn d'Lampen am propperem Raum an enger Tréineform entwéckelt fir den Impakt vun de Luuchten op d'Loftflossorganisatioun ze reduzéieren.
(3) Lücken tëscht Maueren
Wann et Lücken tëscht Trennmaueren oder Plafongen mat verschiddene Propretéitsfuerderunge sinn, kann Stëbs aus Gebidder mat nidderegen Reinigungsfuerderunge op benachbar Gebidder mat héijer Propretéit iwwerdroe ginn.
(4) D'Distanz tëscht der mechanescher Ausrüstung an dem Buedem oder Mauer
Wann d'Lück tëscht der mechanescher Ausrüstung an dem Buedem oder der Mauer kleng ass, wäert d'Rebound Turbulenzen optrieden.Dofir loosst e Spalt tëscht der Ausrüstung an der Mauer an erhéijen d'Maschinnplattform fir direkten Kontakt mam Buedem ze vermeiden.
Post Zäit: Nov-02-2023