De Chip Yield an der Chip Fabrikatioun Industrie ass enk mat der Gréisst an d'Zuel vun de Loftpartikelen op Chip. Gutt Loftfloworganisatioun kënnen Partikelen déi aus Stëbs Quelle aus propperem Raum erakommen an d'Propretéit vum Cleanroom erakommen. Dat ass, d'Loftfloworganisatioun an enger Cleanroom spillt eng vital Roll am Rendement vun der Chipproduktioun. D'Ziler, déi am Design vun der Clean Zëmmer-Loftfloworganisatioun erreecht ginn: fir Eddy Stréimung am Floumfeld ze vermeiden oder ze vermeiden Haftung vu schiedlechen Deelchen ze vermeiden; fir e passenden positiven Dix Gradient ze vermeiden fir Kräiz-Kontaminatioun ze vermeiden.
Geméiss dem Clean Zëmmer Prinzip, d'Kräften op Partikelen op Partikelen enthalen, molekuler Kraaft, Attraktioun tëscht Partikelen, Loftflowkraaft, etc.
Airflow Force: bezitt sech op d'Kraaft vum Airflow verursaacht duerch Versuergung a Retour Airflow, Thermnte Konferenz, kënschtlech Airbitzen, an aner Airbunnen mat engem bestëmmte Flecken mat engem bestëmmte Fluchbau mat engem bestëmmte Flugholz. Fir propper Raum Ëmweltstechnologie Kontroll, Loftflowkraaft ass dee wichtegsten Faktor.
Experimenter hunn gewisen datt an der Loftflossbewegung, Partikelen, déi d'Loftflow op bal déi selwecht Geschwindegkeet verfollegen. D'Konditioun vu Partikelen an der Loft gëtt duerch d'Loftflowverdeelung bestëmmt. D 'Haaptprobeaknë vu Airflow op Indoorpartikelen enthalen: Loftversuergung Airflow (inklusiv Airflow an der zweeter Loftfahrt an den Airflow an der Erhéijung vun de Pantoffel Verschidde Epiturzéiere Methode, Geschwinken, Operatiounen an Industriatiounverbrauch, inschreiwt Phesenomen, as de Mayliften, déi et Faktoren beaflosst.
1. Afloss vun der Loftversuergungsmethod
(1) Loftversuergung Geschwindegkeet
Fir eenheetlech Loftflow ze garantéieren, d'Loftversuergung vun der Odialflossbalterklow propper Zëmmer muss eenheetlech sinn; Déi Doudeg Zone op der Loftversuergungsoberfläch muss kleng sinn; an den Drock fällt an Hepafilter muss och eenheetlech sinn.
D'Loftpréifer ass een Geschwindegkeet: dat ass déi richteg Uni Fleeginatioun vum Loftlow gëllt bannent 20%.
Et gëtt manner fristgerechter Plaz op der Loftoplikatiounsplaze stattfonnt: net dat just d'Plang Regioun vum Hopaflag reduzéiert, kann Moderframe reduzéiert ginn, awer méi wichtegesch Ffurast benotzt ginn. Modriech méi reduzéiert ginn.
Fir sécherzestellen datt de Luckegewielent ongesterzeit ass, huet d'Ausdréckungswëllegm vun de Filter hei bannent de Fortschrëtter net gebotzt ass datt d'Drock mat sech gebueden ass.
(2) Verglach tëscht FFU System an Axial Flow Fan System
FFu ass eng Loftversuergung Eenheet mat engem Fan an Hapafilter. D'Loft gëtt vum Zentrififugg Fan vum FFU gespaant an ëmgekuckt den dynamesche Drock an statesche Drock an der Loftdrock. Et gëtt gläichméisseg duerch Hapafilter erausgaang. D'Loftversuergungsdrock op d'Plafong ass negativen Drock. Dëse Wee ass keen Stauk an tastppen Zëmmer geläscht wann Dir de Filter ersat gëtt. Experimenter hunn gewisen datt de FFU System superior zu den Axial Flow Fan SCORT A SHOUTFORTE Onroublussparmaschinn a Ventilisalismus- a Ventiliencallizismus. Dëst ass well de Loftwuersch Parallalismus vum FFU System besser ass. D'Benotzung vum FFU System kann d'Loftfloworganisatioun am propperem Raum verbesseren.
(3) Afloss vun der eegener Struktur
Ffu gëtt haaptsächlech aus Fans zesummekommes, filste, Loftblummen gëllen an aner Komponenten. Den Hapafilter ass déi wichtegst Garantie fir propper Raum fir déi erfuerderlech Propretéit ze erreechen. D'Material zum Korter këmmert sech och d'Unterormitéit vum Flux-Feld. Wann en haarde Filtermaterial oder e Flowplack an de Filter Outlet bäigefüügt gëtt, ass den Outletflossfelder Feld einfach uniform.
2. Impakt vu Geschwindegkeet Interface mat verschiddene Propretéit
Am selwechte Floss-Tro kommen duerch d'Aarbechtsberäich an och gläichfëllegt Gebitt mat vertritater Loftbalakung an dësem Hertfagnaskëscht am Trecoxt Wuerzele ginn am Interface an der Loftsprakunklamm ginn an den Interfacespock Airflow Zone. D'Intensitéit vun der Air Turbulenzen ass besonnesch staark, an Deeldéngscht, déi op d'Uewerfläch vun der Ausrüstungsmaschinn iwwerginn ginn an d'Ausrüstung a Wafelen a Wafunge kontinuéieren.
3. Impakt op Personal an Ausrüstung
Wann Dir Space eidel ass, ass d'Loftfloss Charakteristike am Raum normalerweis den Design Ufuerderunge gerecht. Wann d'Ausrüstung an d'Ausrüstung trennt, beweegt sech Leit, a Produkter ginn transportéiert, ginn et attraktive Hindernis fir d'Loftfloworganisatioun, wéi schaarf. An den Ecker oder d'Kante, gëtt de Gas oflécke fir en uerdentleche Flowberäich ze bilden, an d'Flëssegkeet an der Regioun gëtt net einfach duerch de kommende Gas duerchgefouert, also aus dem kommunale Gas.
Zur selwechter Zäit wann d'Uewerfläch vun der begannterliterung wéinst kontinderen Agrëff gerechtegen, an d'Temperaturgebaut an der Vergloschtung. Gläichzäiteg, eng héich Temperatur wäert einfach d'Partien einfach verursaachen. Den duebel Effekt verstäerkt d'Gesamt vertikal Schicht. D'Schwieregkeet vun der Bream Custominess ze kontrolléieren. Stëbs aus Bedreiwer am Clean Zëmmer kann einfach op Waffe an dësen Ausfluchsberäicher sinn.
4. Afloss vum Retour Loftbuedem
Wann d'Resistenz vun der Retour Loft duerch de Buedem laanschtgitt, ass den Drockënnerscheed ze fuere ginn, verursaacht Loft an d'Richtung vu klenge Resistenz, an eenheetleche Loftflow gëtt net kritt. Déi aktuell populär Designmethod ass en erhiewte Buedem ze benotzen. Wéi d'Ongen-Verhältnis vum rematéiert Buedem ass op 10%, d'Loftloess Schlous kann an der Indoorbett vun der Indoor festgeet. Zousätzlech sollen stral Opmierksamkeet bezënneren fir d'Botzen ze botzen fir d'Quell vu Verschmotzung um Buedem.
5. Induktioun Phänomen
De sougenannte Induktiounsprenzen bezitt sech op de Phänomen vun der generéierender Loftfloss an der entgéintgesate Richtung an der Uniform Flux, incucing am Raum oder Stëbs an dem Raum an der Erstaunleche kontaminéiert. Méiglech induzéierte Phenomener enthalen déi folgend:
(1) blann Plack
An engem propperem Raum mat vertikale engem-Wee fléisst, wéinst de Gelenker op der Mauer, et gi meeschtens grouss blannepréngelen, déi turbulent Flux a lokal Backbulsflow produzéieren.
(2) Luuchten
Lighting-Armaturen am propperem Raum wäert e méi groussen Impakt hunn. Zënter der Hëtzt vun der fluorescent Lampe verursaacht d'Airflow ze klammen, déi fluorstzent Lamp gëtt net e turbulent Beräich ginn. Bemierkung an de Stierf an engem Motzen ginn ech an engem Haapform geschafft fir den Impakt vun de Luede vun den Luucht op der Luderwend ze reduzéieren.
(3) Lücken tëscht Maueren
Wann et Lücken tëscht Partitionwänn oder Plafonge mat verschiddene Propretéite vum Staub vu Beräicher mat wéineg Propretéite betrëfft kënne ginn, déi op en héije Propretéitunge mat héijer Beräicherunge ginn.
(4) d'Distanz tëscht der mechanescher Ausrüstung an de Buedem oder Wand
Wann de Spalt tëscht der mechanescher Ausrüstung an de Buedem oder d'Mauer kleng ass, rebound Turbulenzen wäert optrieden. Dofir léisst e Spalt tëscht dem Ausrüstung an der Mauer an erhéijen d'Maschinneplattform fir direkt Kontakt mam Buedem ze vermeiden.
Postzäit: NOV-02-2023