Ëmweltschutz gëtt ëmmer méi Opmierksamkeet geschenkt, besonnesch mam zouhuelende Niwwelwieder. Cleanroom Engineering ass eng vun den Ëmweltschutzmoossnamen. Wéi kann een d'Cleanroom Engineering benotze fir eng gutt Aarbecht am Ëmweltschutz ze maachen? Loosst eis iwwer d'Kontroll an der Cleanroom Engineering schwätzen.
Temperatur- a Fiichtegkeetskontroll am proppere Raum
D'Temperatur an d'Fiichtegkeet vu proppere Raim ginn haaptsächlech op Basis vun de Prozessufuerderunge bestëmmt, awer wann d'Prozesufuerderunge erfëllt ginn, soll de mënschleche Komfort berécksiichtegt ginn. Mat der Verbesserung vun den Ufuerderunge fir d'Loftreinheet gëtt et en Trend zu méi strengen Ufuerderunge fir Temperatur a Fiichtegkeet am Prozess.
Als allgemenge Prinzip ginn d'Ufuerderungen un den Temperaturschwankungsberäich duerch déi ëmmer méi grouss Präzisioun vun der Veraarbechtung ëmmer méi kleng. Zum Beispill gëtt an der Lithographie- a Beliichtungsprozess vun der grousser Produktioun vun integréierte Schaltungen den Ënnerscheed am thermeschen Ausdehnungskoeffizient tëscht Glas- a Siliziumwafer, déi als Maskmaterial benotzt ginn, ëmmer méi kleng.
Eng Siliziumwafer mat engem Duerchmiesser vun 100 μm verursaacht eng linear Expansioun vun 0,24 μm wann d'Temperatur ëm 1 Grad eropgeet. Dofir ass eng konstant Temperatur vun ± 0,1 ℃ néideg, an de Fiichtegkeetswäert ass am Allgemengen niddreg, well d'Produkt nom Schweessen kontaminéiert gëtt, besonnesch a Hallefleederatelieren, déi Angscht virun Natrium hunn. Dës Zort Atelier sollt 25 ℃ net iwwerschreiden.
Iwwerméisseg Fiichtegkeet verursaacht weider Problemer. Wann déi relativ Fiichtegkeet iwwer 55% läit, bildt sech Kondensatioun op der Mauer vum Killwaasserleitungsgerät. Wann dëst a Präzisiounsapparater oder Schaltkreesser geschitt, kann et zu verschiddenen Accidenter féieren. Wann déi relativ Fiichtegkeet 50% ass, roscht et liicht. Zousätzlech, wann d'Fiichtegkeet ze héich ass, gëtt de Stëbs, deen un der Uewerfläch vum Siliziumwafer hält, chemesch duerch Waassermoleküle an der Loft op der Uewerfläch adsorbéiert, wat schwéier ze entfernen ass.
Wat méi héich d'relativ Loftfiichtegkeet ass, wat méi schwéier et ass, d'Adhäsioun ze läschen. Wann d'relativ Loftfiichtegkeet awer ënner 30% läit, ginn d'Partikelen och liicht op der Uewerfläch adsorbéiert wéinst der Wierkung vun der elektrostatischer Kraaft, an eng grouss Zuel vun Hallefleederkomponenten ass ufälleg fir Pann. Den optimalen Temperaturberäich fir d'Produktioun vu Siliziumwafer läit bei 35-45%.
LoftdrockKontrollan engem proppere Raum
Fir déi meescht propper Raimlechkeeten, fir ze verhënneren datt extern Verschmotzung antrëtt, ass et néideg den internen Drock (stateschen Drock) méi héich wéi den externen Drock (stateschen Drock) ze halen. D'Erhalen vun der Drockdifferenz soll am Allgemengen de folgende Prinzipie respektéieren:
1. Den Drock a propperen Raim soll méi héich sinn wéi dee vun net propperen Raim.
2. Den Drock a Raim mat héijem Rengheetniveau soll méi héich sinn wéi dee vun ugrenzenden Raim mat nidderegem Rengheetniveau.
3. D'Dieren tëscht de proppere Raim solle Richtung Raim mat héijem Rengheetsniveau opgemaach ginn.
D'Erhale vum Drockënnerscheed hänkt vun der Quantitéit u frëscher Loft of, déi fäeg soll sinn, d'Loftleckage aus der Spalt ënner dëser Drockënnerscheed auszegläichen. Dofir ass déi physikalesch Bedeitung vum Drockënnerscheed de Widderstand géint de Leckloftstroum (oder d'Infiltratioun) duerch verschidde Spalten an engem proppere Raum.
Zäitpunkt vun der Verëffentlechung: 21. Juli 2023