Den Chip Yeldstaux an der IC Hostcource Industrie ass enk mat der Gréisst an d'Zuel vun de Loftpartikelen op der Chip. Eng gutt Loftfloschter vun der Handlotze ka geholl ginn. Den Design vun der Airflow Organisatioun am propper Raum muss déi folgend Ziler erreechen: Reduzéieren oder eliminéiert den Eddy-Stroum am Flowfeld ze vermeiden fir d'Erhuelung vu schiedlechen Deelchen ze vermeiden; en passenden positiven Dix Gradient erhalen fir Kräizkontaminatioun ze vermeiden.
Airflow Force
Geméiss dem propper Raum Prinzip, d'Kräften handelen op d'Partikelen enthalen Masskraaft, molekulär Kraaft, Attraktioun tëscht Partikelen, Loftflowerkraaft, etc.
Airflow Force: bezitt sech op d'Kraaft vum Airflow verursaacht duerch d'Liwwerung, zréck Airflow, Thermfect Airflow, kënschtlech, an aner Airflowen mat engem bestëmmte Fluchtleit mat engem bestëmmte Fluchtkurs Fir déi technesch Kontrollkéieren vum propper Sallater Ëmfeld, Loftfloof Force ass de wichtegsten Faktor.
Experimenter hunn gewisen datt an der Loftflossbewegung, d'Partien déi d'Loftfaarf op bal déiselwecht Geschwindegkeet verfollegen. Den Zoustand vun de Partikelen an der Loft gëtt duerch d'Loftflowverdeelung bestëmmt. D'Airflowen déi indoor Partikelen haaptsächlech beaflossen: Loftversuergung Airflow (inklusiv Primärschoul an der Secondflow), Airflow an der Loftfahrt an der Erliefnes Ersatz an der Erhéijung. Verschidde Stroossesäite Methode benotze Methoden, Speedialien, Operder an der InMust Phantosen an Infänomenomen am Botzmëttelen.
Faktoren beaflossen Airflow Organisatioun
1. Den Afloss vun der Loftversuergungsmethod
(1). Loftschéin
Fir Uniform Airflow ze garantéieren, datt d'Loftversuergungssécherheet an engem ongüdlechen propperem Raum ass; Déi Doudeg Zone vun der Loftversuergung muss kleng sinn; an den Drock drop an der UlPa muss och eenheetlech sinn.
Uniform Loftversuergungssituéierung: dat ass, déi Ongläichheet vum Loftfloss gëtt bannent 20% kontrolléiert.
Eng Thumen Zone op der shollerterneitung: net nëmme méi soll de justreserveresalekt vum Urluik méi a méi wichtege wéi imvisionellen ze vereinfachen fir den renterentesche Flin ze vereinfachen. ModIS
Fir vertikal ongeschlossene Loftflow ze garantéieren, gëtt d'Ausdrock Auswiel vun der Filter och ganz wichteg, erfuerderlech datt den Drockverloscht am Filter am Filter net ofworf huet.
(2). Verglach tëscht FFU System an Axial Flow Fan System
FFU ass eng Loftversuergung Eenheet mat engem Fan an e Filter (ulpa). No der Loft gëtt am Zentriflugal Fan vum FFu geschnidden, gëtt den dynameschen Drock an statesche Drock an der Loftdrock ëmgerechent an och gläichméisseg vum UlPa. D'Loft an de Spuerin ass negativen Drock gesinn, fir datt kee Stëkung an de botzen an de Filter ersat gëtt. Experimenter hunn gewisen datt de FFU System superior zu den Axial Flow Fan SCORT A SHOUT OUTTOME, Airflowy Indeplang a Ventilisalismuser. Dëst ass well d'Loftflow parallalismus vum FFU System besser ass. D'Benotzung vum FFU System kann d'Airflow an der propperer Raum besser organiséiert ginn.
(3). Den Afloss vun der eegener Struktur
FUU gëtt haaptsächlech aus Fans fillen, Filmte, Aauver op Dauerekäschten an, aner Komponenten. Den Ultra-Héicheffizienz Filter UlPa ass déi wichtegst Garantie fir ob de proppere Raum kann déi erfuerderlech Propretéit vum Design erreechen. D'Material zum Korter këmmert sech och d'Unterormitéit vum Flux-Feld. Wann e grousst Filtermaterial oder e Laminar Flowplack an de Filter Outlet bäigefüügt gëtt, ass den Outletfloss Feld einfach uniform.
2. Impakt vu verschiddene Geschwindegkeet vun der Propretéit
Amanzwéinscht ass den héchste Raum, tëscht der Aarbechtsgebëtz an net schaffen Gebitt vu kräfteg Loftwäertegkeet, wéinst dem Ënnerfeldwäerteg Sproess dacks Sortiment ze ginn, an desstraktrossegwäert ass en Turf Loftflow Zone mat besonnesch héije Loftkurbulenzintensitéit. Partikelen kënnen op d'Uewerfläch vun der Ausrüstung iwwerginn ginn an d'Ausrüstung a Wafelen kontaminéiert.
3. Impakt vum Personal an Ausrüstung
Wann de proppt Raum ass eidel, d'Luwstarchancesakteuren erfëllt wann d'Undeel d'Adress erfëllt. Hei wäerten d'Equipen de Mëllt den botzen iwwert d'Prozschlille of iwwer d'Produkter an Produkter sinn, ginn oniwwerduerchsiichteg, och inementwäerteg Hindernisser fir d'Loftfloworelen. Zum Beispill, op der protrudéierender Ecker oder Kanten vun der Ausrüstung, de Gas gëtt ofgeleet fir eng turbulent Zone ze bilden, an d'Flëssegkeet an der Zone gëtt net einfach duerch de Gas ewechgeholl. Zou beim Ëmgängerer Zoufwaff ass der Equipementer, wéinst der Verlängerung, an d'Temperaturganks op d'Matten no bei der Maschinn wäert d'Usprésehéik bei den Uschloss no der Maschinn erhéij ginn. Gläichzäiteg, eng héich Temperatur wäert einfach d'Partien einfach verursaachen. Den duebel Effekt huet d'Schwieregkeetsstécker déi d'Schwieregkeete vun der gesellschaftlecher Laminar Custominess ze kontrolléieren. De Stëbs aus der Bedreiwer am propperem Raum ass ganz einfach fir d'Waferen an dëser Referenzzonen ze halen.
4. Afloss vum Retour Loftbuedem
Wann d'Arbiter vum Sëtzwaarf um Buedem erhiewe kann, ass en Drockënnerscheed, fir datt d'Loft vu manner Referungslach nach kritt. Déi aktuell populär Designmethod ass fir Erhuele Buedem ze benotzen. Wann den Ouverture Taux vun de Joerem Buedem ass, ass d'Airflow Hälungswiessel un der Aarbechtsplaz vun der Raum, déi gläichméisseg verdeelt ginn. Zousätzlech sollen stell Opmierksamkeet ginn, déi bezuelt ginn ginn fir d'Pollutiounsquell vum Buedem erof reduzéieren.
5. Induktioun Phänomen
De sougenannte Induktiounsprenzen bezitt sech op de Phänomenon datt d'Airflow an der entgéintgesate Richtung vun der Uniform ass generéiert, an de Stëbs am Raum ass am Stëbs am Raum an der verständlecher kontaminéierterem Säit kann den Chip kontaminéieren. Déi folgend sinn déi méiglech Indizéierungspheitmen:
(1). Blann Plack
An engem propperem Raum mat vertikale ongebiltenen Flow, wéinst de Gelenker op der Mauer, et gi meeschtens grouss Blindelen, déi d'Turbulce am lokalen Rendement am lokale Rendez-vous sinn.
(2). Leider
Déi Bannriganten huet sech am Grand-Zëmmer e méi héich Impakt hunn. Well d'Hëtzt vu fluoreszenter Luuchten bewierkt datt d'Airflow opsteet, da si keng turbulent Regioun ënner der fluorescszenter Luuchten. Generally, the lamps in the clean room are designed in a teardrop shape to reduce the impact of the lamps on the airflow organization.
(3.) Lücken tëscht Maueren
Wann et Lücken tëscht Partitionen mat verschiddene Prënzinesseren ënnerdegaange sinn a Placene, Stëbs aus der Regioun mat wéineg Propretéite mat héijer Propretéit.
(4). Distanz tëscht der Maschinn an de Buedem oder Wand
Wann de Spalt tëscht der Maschinn an de Buedem oder d'Mauer ganz kleng ass, wäert et rebound Turbulenzen verursaachen. Dofir verloosst e Spalt tëscht dem Ausrüstung an der Mauer an erhéijen d'Maschinn fir d'Maschinn ze loossen.
Postzäit: Feb-05-2025