D'Quelle vu Partikelen ginn an anorganesch Partikelen, organesch Partikelen a lieweg Partikelen opgedeelt. Fir de mënschleche Kierper ass et einfach, Atmungs- a Longekrankheeten ze verursaachen, an et kann och Allergien a viral Infektiounen ausléisen; bei Siliziumchips féiert d'Uschloss vu Stëbspartikelen zu Verformungen oder Kuerzschluss vun integréierte Schaltkreesser, wouduerch d'Chips hir Betribsfunktiounen verléieren, sou datt d'Kontroll vu Mikroverschmotzungsquellen zu engem wichtegen Deel vum Cleanroom-Management ginn ass.
D'Wichtegkeet vun der Ëmweltkontroll a proppere Raim läit doran, sécherzestellen, datt d'Ëmweltbedingungen am Produktiounsprozess spezifesch Rengheetsnormen erfëllen, wat fir vill Industrien entscheedend ass. Hei sinn d'Wichtegkeet an déi spezifesch Roll vun der Ëmweltkontroll a proppere Raim:
1. Produktqualitéit garantéieren
1.1 Verschmotzung vermeiden: An Industrien wéi Hallefleeder, Pharmazeutika a medizinesch Ausrüstung kënne kleng Partikelverschmotzung Produktdefekter oder Ausfäll verursaachen. Duerch d'Kontroll vun der Loftqualitéit an der Partikelkonzentratioun am Cleanroom kann effektiv verhënnert ginn, datt dës Verschmotzung de Produit beaflosst.
Nieft der initialer Investitioun an Hardwareausrüstung erfuerdert d'Ënnerhalt an d'Kontroll vun der Rengheet am Cleanroom och e gutt "Software"-Managementsystem, fir eng gutt Rengheet ze garantéieren. D'Operateuren hunn de gréissten Afloss op d'Rengheet vum Cleanroom. Wann d'Operateuren an de Cleanroom kommen, klëmmt de Stëbs däitlech. Wann Leit hin an hier ginn, verschlechtert sech d'Rengheet direkt. Et ass ze gesinn, datt den Haaptgrond fir d'Verschlechterung vun der Rengheet mënschlech Faktoren sinn.
1.2 Konsequenz: D'Ëmwelt am Cleanroom hëlleft d'Konsequenz an d'Widderhuelbarkeet vum Produktiounsprozess ze erhalen, wouduerch eng stabil Produktqualitéit garantéiert gëtt.
Wat de Glassubstrat ugeet, kann d'Adhäsioun vu Staubpartikelen Kratzer um Glassubstrat, Kuerzschlëss a Blasen, an aner schlecht Prozessqualitéit verursaachen, wat zu Verschrottung féiert. Dofir ass d'Kontroll vu Verschmotzungsquellen zu engem wichtegen Deel vum Cleanroom-Management ginn.
Extern Staubangräifung a Präventioun
De proppere Raum soll e passenden positiven Drock (>0,5 mm/Hg) behalen, am Virbauprojet gutt Aarbecht leeschten, fir sécherzestellen, datt keng Loftleckage optrieden, a Personal, Ausrüstung, Réimaterialien, Tools, Verbrauchsgidder, etc. botzen an ofwëschen, ier se an de proppere Raum bruecht ginn. Gläichzäiteg mussen d'Botzinstrumenter richteg placéiert a reegelméisseg ersat oder gebotzt ginn.
Stëbsbildung a -präventioun a proppere Raim
Déi entspriechend Auswiel u Materialien fir propper Raim, wéi Trennwänn a Biedem, Kontroll vun der Stëbsbildung an de Prozessausrüstungen, also reegelméisseg Ënnerhalt a Botzen, d'Produktiounspersonal däerf net ronderëmlafen oder grouss Kierperbeweegunge op hire Plazen maachen, a präventiv Moossname wéi d'Opstelle vu Klebematten ginn op spezielle Statioune getraff.
2. Verbesserung vun der Produktiounseffizienz
2.1 Reduktioun vun der Schrottquote: Duerch d'Reduktioun vun Ongereimtheeten a Schadstoffer am Produktiounsprozess kann d'Schrottquote reduzéiert ginn, d'Ausbezuelungsquote erhéicht ginn an doduerch d'Produktiounseffizienz verbessert ginn.
Zum Beispill: Et gi 600 Schrëtt an der Waferproduktioun. Wann d'Ausbezuelung vun all Prozess 99% ass, wat ass dann déi total Ausbezuelung vun 600 Prozessprozeduren? Äntwert: 0,99600 = 0,24%.
Fir e Prozess wirtschaftlech machbar ze maachen, wéi héich muss den Ertrag vun all Schrëtt sinn?
•0,999600 = 54,8%
•0,9999600=94,2%
All Prozessausbezuelung muss méi wéi 99,99% erreechen, fir déi final Prozessausbezuelung vu méi wéi 90% z'erreechen, an d'Kontaminatioun vu Mikropartikelen beaflosst direkt d'Prozessurbezuelung.
2.2 De Prozess beschleunegen: D'Aarbecht an enger propperer Ëmwelt kann onnéideg Botzen an Nobearbechtungszäit reduzéieren, wouduerch de Produktiounsprozess méi effizient gëtt.
3. D'Gesondheet a Sécherheet vum Personal garantéieren
3.1 Aarbechtsgesondheet: Fir verschidde Produktiounsprozesser, déi schiedlech Substanzen fräisetzen kënnen, kënnen propper Raim verhënneren, datt schiedlech Substanzen sech an d'Ëmwelt verbreeden an d'Gesondheet vun den Aarbechter schützen. Zënter der Entwécklung vun der Mënschheet hunn sech d'Technologie, d'Ausrüstung an d'Wëssen verbessert, awer d'Loftqualitéit ass zréckgaangen. Eng Persoun inhaléiert ongeféier 270.000 M3 Loft a sengem Liewen a verbréngt 70% bis 90% vu senger Zäit dobannen. Kleng Partikelen ginn vum mënschleche Kierper inhaléiert an an der Atmungssystem ofgelagert. Partikelen vun 5 bis 30 µm ginn am Nasopharynx ofgelagert, Partikelen vun 1 bis 5 µm ginn an der Trachea an de Bronchien ofgelagert, a Partikelen ënner 1 µm ginn an der Alveolarwand ofgelagert.
Leit, déi sech laang Zäit an engem Raum mat net genuch frëscher Loftvolumen ophalen, si méi ufälleg fir de "Indoor-Syndrom", mat Symptomer wéi Kappwéi, Broschtbeschwerden a Middegkeet, a si si méi ufälleg fir Krankheeten vum Atmungs- a Nervensystem. Déi national Norm GB/T18883-2002 vu mengem Land schreift vir, datt de frësche Loftvolumen net manner wéi 30 m3/h pro Persoun soll sinn.
De Volumen vun der frëscher Loft am proppere Raum soll de maximale Wäert vun den folgenden zwou Elementer huelen:
a. D'Zomm vum Loftvolumen, deen néideg ass, fir den Ofzuchsvolumen am Raum auszegläichen an de positiven Drockwäert am Raum ze garantéieren.
b. Sécherstellen, datt d'Frëschloft, déi d'Personal am Cleanroom brauch, genuch ass. Geméiss de Cleanroom-Design-Spezifikatioune ass de Volume vun der Frëschloft pro Persoun a Stonn net manner wéi 40 m3.
3.2 Sécher Produktioun: Duerch d'Kontroll vun Ëmweltparameteren wéi Fiichtegkeet an Temperatur kënnen Sécherheetsrisiken wéi elektrostatesch Entladung vermeit ginn, fir d'Produktiounssécherheet ze garantéieren.
4. Erfëllt d'Reglementer an d'Normen
4.1 Industriestandarden: Vill Industrien hunn streng Rengheetsstandarden (wéi ISO 14644), an d'Produktioun muss a proppere Raim mat spezifesche Qualitéite stattfannen. D'Konformitéit mat dëse Standarden ass net nëmmen eng reglementaresch Ufuerderung, mä och e Spigelbild vun der Konkurrenzfäegkeet vun Entreprisen.
Fir propper Aarbechtsbank, proppert Schuppen, Laminarstromungstransferfënster, Ventilatorfiltereenheet FFU, proppert Kleederschaf, Laminarstromhaube, Gewiichtshaub, proppert Sieb, Selbstreiniger, Loftduschprodukter aus der Serie, ass et néideg, d'Methode fir d'Propretéitstester vun existente Produkter ze standardiséieren, fir d'Zouverlässegkeet vun de Produkter ze verbesseren.
4.2 Zertifizéierung an Audit: Den Audit vun Drëtt-Zertifizéierungsagenturen passéieren a relevant Zertifizéierungen kréien (wéi GMP, ISO 9001, etc.) fir d'Vertraue vum Client ze stäerken an den Zougang zum Maart auszebauen.
5. Technologesch Innovatioun förderen
5.1 Ënnerstëtzung vun der Fuerschung an Entwécklung: Propper Raim bidden eng ideal experimentell Ëmwelt fir d'Entwécklung vun High-Tech-Produkter an hëllefen d'Entwécklung vun neie Produkter ze beschleunegen.
5.2 Prozessoptimiséierung: Ënner engem strikt kontrolléierten Ëmfeld ass et méi einfach, den Impakt vu Prozessännerungen op d'Produktleistung ze observéieren an z'analyséieren, wat d'Prozesverbesserung fërdert.
6. Verbesserung vum Markenimage
6.1 Qualitéitssécherung: Héichqualitativ propper Produktiounsanlagen kënnen d'Markenimage verbesseren an d'Vertraue vun de Clienten an d'Produktqualitéit erhéijen.
6.2 Maartkonkurrenzfäegkeet: Produkter, déi an enger propperer Ëmwelt produzéiert kënne ginn, ginn dacks als Symbol vun héijer Qualitéit an héijer Zouverlässegkeet ugesinn, wat de Betriber hëlleft, sech an der haarder Maartkonkurrenz ofzehiewen.
7. Reduzéiert Reparatur- a Wartungskäschten
7.1 Verlängeren d'Liewensdauer vun den Ausrüstungen: Produktiounsausrüstung an Tools, déi ënner propperen Bedéngungen funktionéieren, si manner ufälleg fir Korrosioun a Verschleiung, wouduerch d'Liewensdauer verlängert gëtt an d'Ënnerhaltsfrequenz an d'Käschte reduzéiert ginn.
7.2 Energieverbrauch reduzéieren: Duerch d'Optimiséierung vum Design a vun der Gestioun vu proppere Raimlechkeeten, d'Energieeffizienz verbesseren, den Energieverbrauch an d'Betribskäschte reduzéieren.
Véier Prinzipie vum Gestioun vum Betrib vu proppere Raim:
1. Bréngt net mat:
De Kader vum HEPA-Filter däerf net lecken.
Den geplangten Drock muss dobannen erhale bleiwen.
D'Betreiber mussen no der Loftdusch Kleeder wiesselen an de proppere Raum eran.
All Materialien, Ausrüstung an Tools musse gebotzt ginn, ier se erabruecht kënne ginn.
2. Net generéieren:
D'Leit mussen staubfräi Kleeder undoen.
Reduzéiert onnéideg Aktiounen.
Benotzt keng Materialien, déi liicht Staub produzéieren.
Onnéideg Saachen däerfen net matbruecht ginn.
3. Net accumuléieren:
Et sollten keng Ecken a Maschinnperipherie ginn, déi schwéier ze botzen oder ze botzen sinn.
Versicht déi ausgesat Loftkanäl, Waasserleitungen, asw. dobannen ze minimiséieren.
D'Botzen muss no Standardmethoden a spezifizéierten Zäiten duerchgefouert ginn.
4. Direkt ewechhuelen:
Erhéicht d'Zuel vun de Loftwiesselen.
Auspuff beim Deel, deen de Stëbs produzéiert.
Verbessert d'Form vun der Loftfloss, fir ze verhënneren, datt Stëbs um Produkt hänke bleift.
Kuerz gesot, d'Ëmweltkontroll a proppere Raim ass vu grousser Bedeitung fir d'Produktqualitéit ze garantéieren, d'Produktiounseffizienz ze verbesseren, d'Gesondheet a Sécherheet vum Personal ze schützen, d'Reglementer ze erfëllen, technologesch Innovatioun ze fërderen an d'Markenimage ze stäerken. D'Entreprisen sollten dës Faktoren vollstänneg berécksiichtegen, wa se propper Raim bauen a ënnerhalen, fir sécherzestellen, datt d'Propper Raim den Ufuerderunge vun der Produktioun an der Fuerschung an Entwécklung gerecht kënne ginn.
Zäitpunkt vun der Verëffentlechung: 12. Februar 2025