Nieft der strikter Kontroll vu Partikelen hunn elektronesch Cleanrooms, déi duerch Chipproduktiounsatelieren, staubfräi Atelieren fir integréiert Schaltungen an Atelieren fir d'Fabrikatioun vu Placken duergestallt ginn, och méi streng Ufuerderungen un d'Temperatur- a Fiichtegkeetskontroll, d'Beliichtung an d'Mikroschockbeständegkeet. D'Auswierkunge vu statescher Elektrizitéit op d'Produktiounsprodukter solle strikt eliminéiert ginn, fir datt d'Ëmwelt d'Ufuerderunge vum Produktiounsprozess vun elektronesche Produkter an enger propperer Ëmwelt erfëlle kann.
D'Temperatur an d'Fiichtegkeet vum elektronesche Cleanroom solle geméiss den Ufuerderunge vum Produktiounsprozess bestëmmt ginn. Wann et keng spezifesch Ufuerderunge fir de Produktiounsprozess gëtt, kann d'Temperatur 20-26°C an déi relativ Fiichtegkeet 30%-70%. D'Temperatur vum Personal-Cleanroom a vum Wunnzëmmer kann 16-28℃ sinn. No der chinesescher nationaler Norm GB-50073, déi den internationalen ISO-Normen entsprécht, ass den Rengheetsniveau vun dëser Zort vu Cleanroom 1-9. Dorënner sinn d'Klassen 1-5, wou de Loftstroummuster unidirektional oder gemëscht ass; d'Klass 6, wou de Loftstroummuster net unidirektional ass an de Loftwiessel 50-60 Mol/Stonn; d'Klass 7, wou de Loftstroumtyp net unidirektional ass an de Loftwiessel 15-25 Mol/Stonn; d'Klass 8-9, wou de Loftstroumtyp net unidirektional ass, an de Loftwiessel 10-15 Mol/Stonn.
No den aktuellen Spezifikatioune soll de Geräischpegel an engem elektronesche Reinigungsraum vun der Klass 10.000 net méi wéi 65 dB(A) sinn.
1. De komplette Verhältnis vum vertikale Floss am elektronesche Cleanroom däerf net manner wéi 60% sinn, an de horizontalen unidirektionale Floss am Cleanroom däerf net manner wéi 40% sinn, soss gëtt et e partiellen unidirektionale Floss.
2. Den stateschen Drockënnerscheed tëscht engem elektronesche Propperraum an der Natur däerf net manner wéi 10 Pa sinn, an den stateschen Drockënnerscheed tëscht propperen Beräicher an net-propperen Beräicher mat ënnerschiddlecher Loftreinheet däerf net manner wéi 5 Pa sinn.
3. D'Quantitéit u frëscher Loft an engem elektronesche Propperraum vun der Klass 10000 soll de Wäert vun den folgenden zwou Elementer erreechen.
4. Kompenséiert d'Zomm vum Ofluftvolumen am Raum an dem Volumen vun der frëscher Loft, deen néideg ass, fir de positiven Drock am Raum z'erhalen.
5. Vergewëssert Iech, datt d'Quantitéit u frëscher Loft, déi pro Persoun a Stonn an de proppere Raum geliwwert gëtt, net manner wéi 40 Quadratmeter ass.
Zäitpunkt vun der Verëffentlechung: 08. Abrëll 2024