1. Entfernung vu Staubpartikelen an engem staubfräie proppere Raum
Déi Haaptfunktioun vun engem proppere Raum ass et, d'Sauberkeet, d'Temperatur an d'Fiichtegkeet vun der Atmosphär ze kontrolléieren, där Produkter (wéi Siliziumchips, etc.) ausgesat sinn, sou datt d'Produkter an engem gudden Ëmfeld produzéiert a fabrizéiert kënne ginn. Mir nennen dëse Raum proppere Raum. No internationaler Praxis gëtt den Niveau vun der Rengheet haaptsächlech duerch d'Zuel vun de Partikelen pro Kubikmeter Loft mat engem Duerchmiesser méi grouss wéi de Klassifikatiounsstandard bestëmmt. An anere Wierder, sougenannt Staubfräiheet ass net 100% staubfräi, mä an enger ganz klenger Eenheet kontrolléiert. Natierlech sinn d'Partikelen, déi de Staubstandard an dësem Standard erfëllen, am Verglach zum übleche Staub, deen mir gesinn, scho ganz kleng, awer fir optesch Strukturen huet souguer e bësse Staub e ganz groussen negativen Impakt, dofir ass Staubfräiheet eng onvermeidbar Viraussetzung bei der Produktioun vun optesche Strukturprodukter.
D'Kontroll vun der Zuel vun de Staubpartikelen mat enger Partikelgréisst méi grouss oder gläich wéi 0,5 Mikrometer pro Kubikmeter op manner wéi 3520/Kubikmeter erreecht d'Klass A vum internationalen staubfräie Standard. De staubfräie Standard, deen an der Produktioun a Veraarbechtung vu Spanen op Spanniveau benotzt gëtt, huet méi héich Ufuerderunge fir de Staub wéi d'Klass A, an esou en héije Standard gëtt haaptsächlech an der Produktioun vu verschiddene Spanen op engem méi héijen Niveau benotzt. D'Zuel vun de Staubpartikelen gëtt streng op 35.200 pro Kubikmeter kontrolléiert, wat an der Cleanroomindustrie allgemeng als Klass B bekannt ass.
2. Dräi Aarte vu proppere Raumzoustänn
Eidele Cleanroom: eng Cleanroom-Anlag, déi gebaut gouf a ka benotzt ginn. Si huet all relevant Servicer a Funktiounen. Et gëtt awer keng Ausrüstung an der Anlag, déi vun den Operateuren bedriwwe gëtt.
Statesche Propperraum: eng Propperraumanlag mat komplette Funktiounen, richtegen Astellungen an Installatioun, déi no den Astellungen benotzt ka ginn oder am Gebrauch ass, awer et gëtt keng Bedreiwer an der Anlag.
Dynamesche Propperraum: e proppere Raum am normale Gebrauch, mat komplette Servicefunktiounen, Ausrüstung a Personal; wann néideg kënnen normal Aarbechten duerchgefouert ginn.
3. Kontrollelementer
(1). Kann Staubpartikelen ewechhuelen, déi an der Loft schwiewen.
(2). Kann d'Bildung vu Stëbspartikelen verhënneren.
(3). Kontroll vun Temperatur a Fiichtegkeet.
(4). Drockreguléierung.
(5). Eliminatioun vu schiedleche Gasen.
(6). Loftdichtheet vu Strukturen a Kompartimenter.
(7). Verhënnerung vu statescher Elektrizitéit.
(8). Verhënnerung vun elektromagneteschen Interferenzen.
(9). Berécksiichtegung vu Sécherheetsfaktoren.
(10). Berücksichtegung vun der Energiespuerung.
4. Klassifikatioun
Turbulenten Stroumungstyp
D'Loft kënnt vun der Klimaanlag iwwer den Loftkanal an den Loftfilter (HEPA) an de proppere Raum eran a gëtt vun den Trennwandpanneauen oder erhiewte Biedem op béide Säite vum proppere Raum zréckgefouert. De Loftstroum beweegt sech net linear, mä weist en onregelméissegen turbulenten oder Wirbelzoustand op. Dësen Typ ass gëeegent fir propper Raim vun der Klass 1.000-100.000.
Definitioun: E proppere Raum, wou de Loftstroum mat enger ongläicher Geschwindegkeet fléisst a net parallel ass, a begleet vu Réckstroum oder Wirbelstroum.
Prinzip: Turbulent Propperraim vertrauen op den zougeloossene Loftstroum, fir d'Indoorloft kontinuéierlech ze verdënnen an déi verschmotzt Loft graduell ze verdënnen, fir eng Rengheet z'erreechen (turbulent Propperraim sinn normalerweis fir Rengheetsniveauen iwwer 1.000 bis 300.000 entworf).
Eegeschaften: Turbulent propper Raim vertrauen op verschidde Belëftungen, fir Rengheet an Rengheetsniveauen z'erreechen. D'Zuel vun de Belëftungswiessel bestëmmt den Reinigungsniveau an der Definitioun (wat méi Belëftungswiessel, wat méi héich den Rengheetsniveau ass).
(1) Selbstreinigungszäit: bezitt sech op d'Zäit, zu där de proppere Raum ufänkt, Loft an de proppere Raum no der geplangter Belëftungszuel ze liwweren an d'Stëbskonzentratioun am Raum den geplangten Rengheetsniveau erreecht. Klass 1.000 soll net méi wéi 20 Minutten daueren (15 Minutte kënnen fir d'Berechnung benotzt ginn), Klass 10.000 soll net méi wéi 30 Minutten daueren (25 Minutte kënnen fir d'Berechnung benotzt ginn), Klass 100.000 soll net méi wéi 40 Minutten daueren (30 Minutte kënnen fir d'Berechnung benotzt ginn).
(2) Belëftungsfrequenz (entspriechend den uewe genannten Ufuerderunge fir d'Selbstreinigungszäit) Klass 1.000: 43,5-55,3 Mol/Stonn (Standard: 50 Mol/Stonn) Klass 10.000: 23,8-28,6 Mol/Stonn (Standard: 25 Mol/Stonn) Klass 100.000: 14,4-19,2 Mol/Stonn (Standard: 15 Mol/Stonn)
Virdeeler: einfach Struktur, niddreg Systembaukäschten, einfach Ausbau vum Propperraum, a verschiddene spezielle Plazen kann eng staubfräi Propperbank benotzt ginn fir d'Propperraumqualitéit ze verbesseren.
Nodeeler: Staubpartikelen, déi duerch Turbulenzen entstinn, schwiewen am Raum a si schwéier ofzeféieren, wat d'Prozessprodukter liicht kontaminéiere kann. Zousätzlech, wann de System gestoppt an dann aktivéiert gëtt, dauert et dacks laang, bis déi erfuerderlech Rengheet erreecht gëtt.
Laminarstroumung
Laminarloft beweegt sech an enger gläichméisseger gerader Linn. D'Loft kënnt duerch e Filter mat enger Ofdeckungsquote vun 100% an de Raum eran a gëtt duerch den erhiewte Buedem oder d'Trennwänn op béide Säiten zréckgefouert. Dësen Typ ass gëeegent fir de Gebrauch a proppere Raumëmfeld mat méi héije Propperraumqualitéiten, normalerweis Klass 1~100. Et gëtt zwou Zorten:
(1) Horizontal laminar Loftstroumung: Horizontal Loft gëtt aus dem Filter an eng Richtung erausgeblosen an iwwer d'Réckluftsystem op der Géigenwand zréckgefouert. De Stëbs gëtt mat der Loftrichtung no baussen ofgeleet. Am Allgemengen ass d'Verschmotzung méi eescht op der Oflafsäit.
Virdeeler: Einfach Struktur, kann no der Operatioun kuerzer Zäit stabil ginn.
Nodeeler: D'Baukäschte si méi héich wéi bei turbulenten Flux, an den Indoorraum ass net einfach auszebauen.
(2) Vertikal laminar Stréimung: D'Plafong vum Raum ass komplett mat ULPA-Filter bedeckt, an d'Loft gëtt vun uewen no ënnen geblosen, wat eng méi héich Rengheet erreeche kann. De Stëbs, deen während dem Prozess oder vum Personal entsteet, kann séier no baussen ofgeleet ginn, ouni aner Aarbechtsberäicher ze beaflossen.
Virdeeler: Einfach ze verwalten, e stabile Zoustand kann bannent kuerzer Zäit nom Operatiounsstart erreecht ginn, an ass net einfach vum Betribszoustand oder den Operateuren beaflosst.
Nodeeler: Héich Baukäschten, schwéier flexibel Plaz ze notzen, Deckenhänger huelen vill Plaz an huelen schwéier Filteren an, a si sinn net einfach ze reparéieren an z'ersetzen.
Komposittyp
De Komposit-Typ besteet doran, turbulent an laminar Flosstypen zesummen ze kombinéieren oder ze benotzen, wat lokal ultra-propper Loft liwwere kann.
(1) Propperen Tunnel: Benotzt HEPA- oder ULPA-Filter fir 100% vum Prozessberäich oder Aarbechtsberäich ofzedecken, fir den Rengheetsniveau op iwwer Klass 10 ze erhéijen, wat Installatiouns- a Betribskäschte spueren kann.
Dësen Typ erfuerdert datt den Aarbechtsberäich vum Bedreiwer vun der Produkt- an der Maschinnënnerhaltung isoléiert ass, fir d'Aarbecht an d'Qualitéit während der Maschinnënnerhaltung net ze beaflossen.
Propper Tunnellen hunn zwou weider Virdeeler: A. Einfach flexibel auszebauen; B. D'Ënnerhalt vun Ausrüstung kann einfach am Ënnerhaltsberäich duerchgefouert ginn.
(2) Clean Tube: Ëmginn an purifiéieren déi automatesch Produktiounslinn, duerch déi de Produktstroum leeft, an erhéijen den Rengheetniveau op iwwer Klass 100. Well d'Produkt, den Operateur an d'staubgeneréierend Ëmwelt vuneneen isoléiert sinn, kann eng kleng Loftzufuhr eng gutt Rengheet erreechen, wat Energie spueren kann an am beschte fir automatiséiert Produktiounslinnen gëeegent ass, déi keng manuell Aarbecht erfuerderen. Et ass uwendbar an der Pharma-, Liewensmëttel- a Hallefleederindustrie.
(3) Clean Spot: Den Niveau vun der Rengheet vum Produktprozessberäich am turbulente Clean Room mat engem Clean Room-Niveau vun 10.000~100.000 gëtt fir Produktiounszwecker op 10~1000 oder méi héich erhéicht; propper Aarbechtsbänken, propper Schuppen, prefabrizéiert Clean Rooms a propper Kleederschaf gehéieren zu dëser Kategorie.
Propper Aarbechtsbank: Klass 1~100.
Propper Kabinn: E klenge Raum, deen vun engem antistatesche transparenten Plastikduch an engem turbulente Propperraum ëmginn ass, deen onofhängeg HEPA- oder ULPA- an Klimaanlagen benotzt, fir e proppere Raum op engem méi héijen Niveau ze kréien, mat engem Niveau vun 10~1000, enger Héicht vu ronn 2,5 Meter an enger Ofdeckungsfläch vu ronn 10m2 oder manner. Et huet véier Sailen an ass mat beweegleche Rieder fir eng flexibel Notzung ausgestatt.
5. Loftstroumstroum
Wichtegkeet vum Loftstroum
D'Sauberkeet vun engem proppere Raum gëtt dacks vum Loftstroum beaflosst. An anere Wierder, d'Beweegung an d'Verbreedung vum Stëbs, deen duerch Mënschen, Maschinnefächer, Gebaierstrukturen asw. entsteet, gëtt vum Loftstroum kontrolléiert.
De proppere Raum benotzt HEPA an ULPA fir d'Loft ze filteren, an seng Staubsammelquote ass bis zu 99,97~99,99995%, sou datt d'Loft, déi vun dësem Filter gefiltert gëtt, als ganz propper bezeechent ka ginn. Wéi och ëmmer, nieft de Mënschen, ginn et och Staubquellen wéi Maschinnen am proppere Raum. Soubal dëse generéierte Stëbs sech verbreet huet, ass et onméiglech e proppere Raum ze halen, dofir muss de Loftstroum benotzt ginn fir de generéierte Stëbs séier no baussen ze entfernen.
Aflossfaktoren
Et gi vill Faktoren, déi den Loftstroum vun engem proppere Raum beaflossen, wéi zum Beispill Prozessausrüstung, Personal, Montagematerial fir de Propperraum, Beliichtung, etc. Gläichzäiteg soll och den Oflenkungspunkt vum Loftstroum iwwer der Produktiounsausrüstung berécksiichtegt ginn.
Den Oflenkungspunkt vum Loftstroum op der Uewerfläch vun engem allgemengen Operatiounsdësch oder enger Produktiounsausrüstung soll op 2/3 vun der Distanz tëscht dem proppere Raum an der Trennwand agestallt sinn. Op dës Manéier kann de Loftstroum, wann den Operateur schafft, vun der bannenzeger Säit vum Prozessberäich an den Operatiounsberäich fléissen an de Stëbs ewechhuelen; wann den Oflenkungspunkt virum Prozessberäich konfiguréiert ass, gëtt et eng falsch Oflenkung vum Loftstroum. Zu dësem Zäitpunkt fléisst de gréissten Deel vum Loftstroum an d'Récksäit vum Prozessberäich, an de Stëbs, deen duerch d'Operatioun vum Operateur verursaacht gëtt, gëtt an d'Récksäit vum Ausrüstung transportéiert, an d'Aarbechtsbank gëtt kontaminéiert, an den Ertrag wäert onvermeidbar erofgoen.
Hindernisser wéi Aarbechtsdëscher a proppere Raim hunn Wirbelstréim um Kräizungspunkt, an d'Propretéit an hirer Géigend wäert relativ schlecht sinn. D'Buere vun engem Réckluftlach um Aarbechtsdësch miniméiert de Wirbelstroumphänomen; ob d'Auswiel vun de Montagematerialien ugepasst ass an ob den Ausrüstungslayout perfekt ass, sinn och wichteg Faktoren, ob de Loftstroum zu engem Wirbelstroumphänomen gëtt.
6. Zesummesetzung vum proppere Raum
D'Zesummesetzung vun engem proppere Raum setzt sech aus de folgende Systemer zesummen (kee dovun ass onentbierlech an de Systemmoleküle), soss ass et net méiglech, e komplette a qualitativ héichwäertege proppere Raum ze bilden:
(1) Deckensystem: inklusiv Deckenstang, I-Träger oder U-Träger, Deckengitter oder Deckenrahmen.
(2) Klimaanlag: inklusiv Loftkabinn, Filtersystem, Wandmillen, etc.
(3) Trennwand: inklusiv Fënsteren an Dieren.
(4) Buedem: inklusiv erhiewte Buedem oder antistatische Buedem.
(5) Beliichtungsarmaturen: LED-Purifikatiounsflaachluucht.
D'Haaptstruktur vum proppere Raum besteet normalerweis aus Stolstangen oder Knachzement, awer egal wat fir eng Zort Struktur et ass, si muss déi folgend Konditioune erfëllen:
A. Et wäerten keng Rëss duerch Temperaturännerungen a Vibratiounen entstoen;
B. Et ass net einfach, Stëbspartikelen ze produzéieren, an et ass schwéier fir Partikelen sech unzehänken;
C. Niddreg Hygroskopizitéit;
D. Fir d'Fiichtegkeetsbedingungen an engem proppere Raum z'erhalen, muss d'Wärmeisolatioun héich sinn;
7. Klassifikatioun no Gebrauch
Industriell propper Raum
D'Kontroll vun inanimate Partikelen ass den Objet. Et kontrolléiert haaptsächlech d'Verschmotzung vu Loftstaubpartikelen op den Aarbechtsobjekt, an den Interieur hält allgemeng e positiven Drockzoustand. Et ass gëeegent fir d'Präzisiounsmaschinnindustrie, d'Elektronikindustrie (Hallefleeder, integréiert Schaltungen, etc.), d'Loftfaartindustrie, d'Héichreinheetschemieindustrie, d'Atomenergieindustrie, d'Optik- a Magnéitproduktindustrie (CD, Film, Bandproduktioun), LCD (Flëssegkristallglas), Computerfestplatten, Computerkappproduktioun an aner Industrien.
Biologesche proppere Raum
Kontrolléiert haaptsächlech d'Verschmotzung vu liewegen Partikelen (Bakterien) an inanimate Partikelen (Stëbs) op den Aarbechtsobjekt. Et kann opgedeelt ginn an;
A. Allgemeng biologescht Propperraum: kontrolléiert haaptsächlech d'Verschmotzung vu mikrobiellen (bakteriellen) Objeten. Gläichzäiteg mussen déi intern Materialien der Erosioun vu verschiddene Sterilisatiounsmëttel standhalen, an den Interieur garantéiert am Allgemengen e positiven Drock. Am Fong mussen déi intern Materialien de verschiddene Sterilisatiounsbehandlunge vun industrielle Propperraum standhalen. Beispiller: Pharmaindustrie, Spideeler (Operatiounssäll, Sterilstatiounen), Liewensmëttel, Kosmetik, Gedrénksproduktioun, Déierlaboratoiren, physikalesch a chemesch Testlaboratoiren, Bluttstatiounen, etc.
B. Biologesch Sécherheets-Propperraum: Kontrolléiert haaptsächlech d'Verschmotzung vu liewegen Deelercher vum Aarbechtsobjekt op d'Äussewelt an d'Mënschen. Den internen Drock muss negativ mat der Atmosphär gehale ginn. Beispiller: Bakteriologie, Biologie, propper Laboratoiren, Physikalesch Ingenieurswiesen (rekombinant Genen, Impfstoffvirbereedung)
Zäitpunkt vun der Verëffentlechung: 07. Februar 2025