Nom Asaz virun Ort mat der Klass 10000 Norm entspriechen d'Parameteren wéi Loftvolumen (Zuel vun de Loftwiesselen), Drockënnerscheed a Sedimentatiounsbakterien all d'Designufuerderungen (GMP), an nëmmen ee Punkt vun der Staubpartikeldetektioun ass net qualifizéiert (Klass 100000). D'Resultater vun de Géigemoossnamen hunn gewisen, datt grouss Partikelen de Standard iwwerschratt hunn, haaptsächlech Partikelen vu 5 μm an 10 μm.
1. Feeleranalyse
D'Ursaach fir grouss Partikelen, déi de Standard iwwerschreiden, trëtt normalerweis a proppere Raim mat héijer Rengheet op. Wann den Reinigungseffekt vum Propperraum net gutt ass, beaflosst dat direkt d'Testergebnisse; Duerch d'Analyse vun den Loftvolumendaten an déi vireg Ingenieurserfarungen sollten déi theoretesch Testergebnisse vun e puer Raim d'Klass 1000 sinn; Déi virleefeg Analyse gëtt wéi follegt agefouert:
①. D'Botzaarbecht ass net dem Standard entspriechend.
2. Et gëtt Loftleckage aus dem Kader vum HEPA-Filter.
③. Den HEPA-Filter huet Leck.
④. Negativen Drock am Reenraum.
⑤. D'Loftvolumen ass net genuch.
⑥. De Filter vun der Klimaanlag ass verstoppt.
⑦. De Frëschloftfilter ass verstoppt.
Baséierend op der uewe genannter Analyse huet d'Organisatioun Personal organiséiert fir den Zoustand vum Cleanroom nei ze testen an huet festgestallt, datt d'Loftvolumen, den Drockënnerscheed usw. den Designufuerderunge entspriechen. D'Propretéit vun alle Cleanrooms war Klass 100000 an d'Staubpartikelen vu 5 μm an 10 μm hunn de Standard iwwerschratt an net den Designufuerderunge vun der Klass 10000 entsprach.
2. Méiglech Feeler een nom aneren analyséieren an eliminéieren
A fréiere Projeten gouf et Situatiounen, wou en net genuch Drockënnerscheed an e reduzéierten Loftzouflossvolumen wéinst enger Blockéierung vum primären oder mëttleren Effizienz am Frëschloftfilter oder der Eenheet entstane sinn. Duerch d'Inspektioun vun der Eenheet an d'Miessung vum Loftvolumen am Raum gouf festgestallt, datt d'Punkten ④⑤⑥⑦ net stëmmen; déi nächst Saach ass d'Fro vun der Rengheet an Effizienz am Raum; et gouf tatsächlech keng Reinigung virun Ort duerchgefouert. Bei der Inspektioun an der Analys vum Problem hunn d'Aarbechter e proppert Raum speziell gebotzt. D'Miessresultater hunn ëmmer nach gewisen, datt grouss Partikelen den Standard iwwerschratt hunn, an hunn dann d'Hepa-Box een nom aneren opgemaach fir ze scannen a filteren. D'Scanresultater hunn gewisen, datt een Hepa-Filter an der Mëtt beschiedegt war, an d'Partikelzuelmiesswäerter vum Frame tëscht all anere Filteren an der Hepa-Box sinn op eemol eropgaang, besonnesch fir 5 μm an 10 μm Partikelen.
3. Léisung
Well d'Ursaach vum Problem fonnt gouf, ass et einfach ze léisen. D'Hepa-Box, déi an dësem Projet benotzt gëtt, besteet aus all Filterstrukturen, déi mat Bolzen gepresst a versiegelt sinn. Et gëtt eng Spalt vun 1-2 cm tëscht dem Filterrahmen an der bannenzeger Mauer vun der Hepa-Box. Nodeems d'Lächer mat Dichtungsstreifen gefëllt an mat neutralem Dichtstoff versiegelt goufen, ass d'Sauberkeet vum Raum ëmmer nach Klass 100000.
4. Nei Analyse vum Feeler
Nodeems de Kader vun der Hepa-Box elo versiegelt an de Filter gescannt gouf, gëtt et kee Leckage méi am Filter, sou datt de Problem ëmmer nach um Kader vun der bannenzeger Mauer vun der Loftlüftung optrieden. Dann hu mir de Kader nach eng Kéier gescannt: D'Detektiounsresultater vum bannenzege Mauerrahmen vun der Hepa-Box. Nodeems d'Versiegelung passéiert war, hu mir d'Lück an der bannenzeger Mauer vun der Hepa-Box nach eng Kéier iwwerpréift a festgestallt, datt déi grouss Partikelen ëmmer nach de Standard iwwerschreiden. Am Ufank hu mir geduecht, et wier e Wirbelstroumphänomen am Wénkel tëscht dem Filter an der bannenzeger Mauer. Mir hunn eis virbereet, 1 m Folie laanscht de Kader vun der Hepa-Filter ze hänken. Déi lénks a riets Folie ginn als Schëld benotzt, an dann gëtt den Rengheetstest ënner dem Hepa-Filter duerchgefouert. Beim Virbereeden fir d'Folie opzepechen, huet sech festgestallt, datt d'bannenzeg Mauer e Lackofblätterphänomen huet, an et ass eng ganz Lück an der bannenzeger Mauer.
5. Stëbs aus der HEPA-Box behandelen
Kleet Aluminiumfolieband op d'bannenzeg Mauer vun der HEPA-Box, fir de Stëbs op der bannenzeger Mauer vum Loftöffnungsschloss selwer ze reduzéieren. Nodeems Dir den Aluminiumfolieband gepecht hutt, sollt Dir d'Zuel vun de Stëbspartikelen laanscht de Frame vum HEPA-Filter detektéieren. Nodeems d'Framedetektioun veraarbecht gouf, kann een duerch de Verglach vun de Resultater vun der Partikelzilerdetektioun virun an no der Veraarbechtung kloer feststellen, datt d'Ursaach fir déi grouss Partikelen, déi de Standard iwwerschreiden, duerch de Stëbs verursaacht gëtt, deen vun der HEPA-Box selwer verstreet gëtt. Nodeems den Diffusordeckel installéiert gouf, gouf de proppere Raum nach eng Kéier getest.
6. Resumé
Grouss Partikelen, déi de Standard iwwerschreiden, si rar bei Cleanroom-Projeten a kënnen komplett vermeit ginn; duerch d'Zesummefaassung vun de Problemer an dësem Cleanroom-Projet muss d'Projetmanagement an Zukunft gestäerkt ginn; dëst Problem ass wéinst der laxer Kontroll vun der Beschaffung vu Rohmaterialien, wat zu verstreetem Stëbs an der Hepa-Këscht féiert. Zousätzlech gouf et keng Lücken an der Hepa-Këscht oder ofblätternd Faarf beim Installatiounsprozess. Zousätzlech gouf et keng visuell Inspektioun virun der Installatioun vum Filter, an e puer Schrauwen waren net fest zougemaach wéi de Filter installéiert gouf, wat all Schwächten am Management gewisen huet. Och wann den Haaptgrond de Stëbs aus der Hepa-Këscht ass, kann de Bau vum Cleanroom net schlampig sinn. Nëmmen duerch d'Duerchféierung vu Qualitéitsmanagement a Kontroll am ganze Prozess vum Ufank vum Bau bis zum Enn vun der Fäerdegstellung kënnen déi erwaart Resultater an der Inbetriebnahmephase erreecht ginn.
Zäitpunkt vun der Verëffentlechung: 01.09.2023